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第460章 五步光刻法

全彩會議室  當然了,這個跑通,不等于馬上就能投產。因為還有產品質量問題,良率問題。但剩下的事情相對就好辦了,大家慢慢磨時間吧。

  “樣品給駱師姐送去了嗎?”

  今天開會來的人特別全,因為公司到了一個新的節點。

  在會議桌中央,擺放著幾塊10.4寸的TFTLCD樣品。這幾塊樣品,是用產線設備跑出來的。LCD生產線,終于徹底跑通了一次。

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  “送去了,她們的電路板已經準備得差不多了,估計過兩天,成品就會送回來。”

  “好吧。”

  成永興猶豫了一下,但還是妥協了。這個技術,他是準備保留到下一代的。在歷史上,五步光刻法,要過幾年才會出現。

  王青山是產線調試的技術負責人,從現在開始,產率,良率的問題,主要就是他的事情了。

  “怎么了?”

  “產品的良率不足,也跟現在TFT的加工工序次數過多有關系。”

  而在晶圓芯片的加工過程中,幾十次的光刻,是最少的了。這也是為什么晶圓廠的成品率很難提高的緣故。步驟越多,總成品率就越低。

  “小成,如果你有好的技術,就趕緊拿出來吧。”

  白學成也在一邊加入了戰團,進行勸說。

  會議很快就轉向了其它議題。

  例如國產原料的送檢等。但這些不影響主要進度。

  有,不錯,沒有,也不怎么值得大家關心。

  從全彩員工的角度看,這些都是供應商,用誰的不是用?用國產原料,反而是給大家添麻煩。

  會后,白學成和成永興,王青山三個人到小會議室閑坐。

  隨著產線的全線調通,大家的心情,也就慢慢放松了下來。

  劉民學最后還是接任了《光電設備》的總經理,但他不怎么來冰城,所以他的那個總經理,只是個掛名。

  好在幾家下屬設備廠,完全可以獨立工作,有沒有這個上級單位,也沒有太大關系。

  冰城的光電設備本部,又重建了一套獨立的管理班子,周強等一批人,從其他兄弟單位調動了過來。

  “我們的顯示基地計劃,一直還沒有批下來。”

  “這個我知道。”

  “你怎么一點都不急呢?”

  白學成對成永興的態度,感到有點奇怪。

  “急有用嗎?”

  “呵呵,是啊!”

  急是沒有用。不過這個事情在成永興身上,白學成還是覺察出一絲不尋常。

  這個年輕人,在很多事情上,急躁得很。例如產線的全線調通。但有些事情,又鎮靜的令人奇怪。

  “不過,有個朋友托人給我們帶話,他希望我們可以把正式線,設到申城。如果可以,他會幫助我們推動項目的審批工作。”

  隨著時間的流逝,光電的第二間廠房,也進入了驗收階段。

  幾乎所有人都認為,這間廠房是為了正式線準備的。

  “用不著吧。現在這樣不是挺好的嗎?”

  帶著后世的觀點,成永興對這種項目審批,很不以為然。

  你批給我,名正言順,不批,你還能擋著我花錢嗎?

  大不了,我連貸款都不用。而且隨著第一塊液晶樣品的出現,對于如何搞錢,成永興有些別樣的想法。后世的人,拿著個PPT都能騙錢呢!

  “是這樣的,這條正式線,用我們自己的資金,無論如何是建不起來的。”

  白學成與大多數人一樣,根本看不到用自有資金,建設全負荷產線的可能性。

  作為全彩總經理,找錢就成了他的一個本能舉動。

  LED大屏,確實很掙錢,但是如果只是靠自我利潤的滾存,要攢50個月才能攢夠一條正式產線所需要的投資。

  “我的朋友講,如果這條線能夠放到申城,配套資金,他們可以負責解決7成。他們那里還可以提供各種稅收優惠,條件非常好。”

  對于全彩來說,生產線設到哪里,區別不大。光電的不少職工,原籍就是江浙一帶。

  后世,晶東方,全國各地建產線,甚至建到了內蒙古,哪里有錢,就去哪里建!

  “正式線,目前還沒有建的打算。過兩天,我準備再上一條中試線。”

  “還上中試線?這條試驗線的目的是什么啊?”

  “這次準備提高LCD的大小和分辨率。”

  大小和分辨率,是個不錯的借口,但確實也有需要。隨著時間的流逝,第一次LCD景氣循環再有幾個月就會走到了大家的面前。

  居安思危,隨著上升波段的到來,下降波段,也會接踵而至。如何度過寒冬,就是必須要考慮的事情。

  “這次的設備需求,跟這次一樣嗎?”

  “不一樣,這次要求廠家們準備上5微米精度!”

  新技術的采用和推廣,成永興的策略始終是小步快跑,溫水煮青蛙。

  第一次上10微米,是因為大家都沒有經驗,他也不想給設備廠商增加無畏的負擔。

  但闖過了第一關之后,再繼續放縱就不對了。

  錢哪有這么好掙的?

  歷史在這里改了個大彎,LCD產線的世代稱呼,以全彩的命名規則為準了。

  為了區分各代產線,已經建成的這代產線,被稱為第一代。

  這代產品是光電在LCD領域的第一次嘗試。它的主要特征是,產品尺寸較小,最大只有12寸,分別率也比較低,只有640x480。

  而馬上就要開發的,自然就被稱呼為第二代。

  第二代的尺寸被放大到了15寸,最大分辨率則被提升到了1024x768。它的主要針對目標,是此時的工作站顯示器市場。

  “這樣的話,難度大了不少,各設備廠家恐怕都會有很大的經濟壓力啊。”

  第一代設備,算是試用,樣品,各家都拿出了很大熱情來參與。從某種角度上來說,為了搶占市場,就是賠本干,也要拿下來。

  第一代產品還沒有看到效益,就開始研發第二代,光是研發成本,各家就承受不了。

  “沒關系,第二代線也不是現在就啟動,只是要跟各廠家提前打好招呼。至于一代線,我準備再建幾條。讓他們準備好掙錢就行了。”

  “幾條?中試線?為什么要建這么多條中試線?錢從哪來?”

1992年3月  TFT的加工工藝,與晶圓沒有原理上的本質區別。每一次光刻,成膜,清洗,涂光阻膠,曝光,顯影,烘干,蝕刻,去光阻膠,檢查,都要走一遍。

  目前的TFT加工工藝,采用的是七次光刻的工藝。也就是基板需要通過七次光刻,才能完成加工。

  會議的重點,永遠都是良率問題。

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